半导体设备企业有望逐步做大做强，半导体设备ETF(561980)上涨2.53%，冲击3连涨

新时空讯，截至2026年1月16日10:37，中证半导体产业指数(931865)强势上涨3.09%，成分股天岳先进上涨16.54%，康强电子上涨10.02%，中科飞测上涨8.80%，芯源微，珂玛科技等个股跟涨。半导体设备ETF(561980)上涨2.53%， 冲击3连涨。最新价报2.51元。拉长时间看，截至2026年1月15日，半导体设备ETF近1周累计上涨4.39%，涨幅排名可比基金1/2。（以上所列股票仅为指数成份股，无特定推荐之意）

流动性方面，半导体设备ETF盘中换手10.93%，成交3.61亿元，市场交投活跃。拉长时间看，截至1月15日，半导体设备ETF近1周日均成交3.59亿元。

规模方面，半导体设备ETF最新规模达32.15亿元，创近1年新高，位居可比基金1/2。（数据来源：Wind）

份额方面，半导体设备ETF最新份额达13.19亿份，创近1月新高，位居可比基金1/2。（数据来源：Wind）

资金流入方面，半导体设备ETF最新资金净流入7625.81万元。拉长时间看，近5个交易日内有3日资金净流入，合计“吸金”1.85亿元，日均净流入达3699.49万元。（数据来源：Wind）

数据显示，杠杆资金持续布局中。半导体设备ETF本月以来融资净买额达182.15万元，最新融资余额达1.23亿元。（数据来源：Wind）

截至1月15日，半导体设备ETF近2年净值上涨178.50%，指数股票型基金排名12/2510，居于前0.48%。从收益能力看，截至2026年1月15日，半导体设备ETF自成立以来，最高单月回报为24.91%，最长连涨月数为4个月，最长连涨涨幅为68.32%，涨跌月数比为15/13，上涨月份平均收益率为10.72%，年盈利百分比为100.00%，历史持有2年盈利概率为100.00%。截至2026年1月15日，半导体设备ETF成立以来超越基准年化收益为0.92%。

截至2026年1月9日，半导体设备ETF近1年夏普比率为2.00，排名可比基金1/2，同等风险下收益最高。

回撤方面，截至2026年1月15日，半导体设备ETF今年以来最大回撤3.47%，相对基准回撤0.07%，在可比基金中回撤最小。回撤后修复天数为2天。

费率方面，半导体设备ETF管理费率为0.50%，托管费率为0.10%，费率在可比基金中最低。

跟踪精度方面，截至2026年1月15日，半导体设备ETF今年以来跟踪误差为0.016%，在可比基金中跟踪精度最高。

半导体设备ETF紧密跟踪中证半导体产业指数，中证半导体产业指数从上市公司中，选取不超过40只业务涉及半导体材料、设备和应用等相关领域的上市公司证券作为指数样本，以反映半导体核心产业上市公司证券的整体表现。

数据显示，截至2025年12月31日，中证半导体产业指数(931865)前十大权重股分别为北方华创、中微公司、寒武纪、中芯国际、海光信息、拓荆科技、长川科技、华海清科、中科飞测、南大光电，前十大权重股合计占比76.68%。（以上所列股票仅为指数成份股，无特定推荐之意）

东莞证券表示，随着DRAM、NAND架构向3D化方向发展，会显著提升刻蚀、薄膜沉积设备相关需求。其中，3D化驱动DRAM和NAND所对应的设备可服务市场大致为原来的1.7倍和1.8倍，内资半导体设备企业有望逐步做大做强。

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